近日,中國機械工業(yè)集團公司(簡(jiǎn)稱(chēng)國機集團)所屬沈陽(yáng)儀表院 “12英寸IC專(zhuān)用芯片劃片工藝裝備研制”通過(guò)了科技成果鑒定。
項目研制出了國內首臺全自動(dòng)、龍門(mén)式12英吋砂輪劃片機。最高累積步進(jìn)精度可達2μm/310mm,主軸最高轉速41000r/min。
申請國家發(fā)明專(zhuān)利3項以上,實(shí)用新型專(zhuān)利4項以上,取得了一批具有自主知識產(chǎn)權的研究成果,填補了國內空白,整體技術(shù)水平達到國際先進(jìn)水平,形成了相應技術(shù)規范和標準。
項目的研發(fā)成功為提升我國IC(集成電路)裝備的技術(shù)水平檔次、提高國內外市場(chǎng)的競爭力和市場(chǎng)占有率,滿(mǎn)足我國IC裝備需求將起到重要的推進(jìn)作用。